O desenvolvimento deste trabalho surgiu como uma preparao para um futuro projecto do CEMMPRE que consiste na produo de pelculas finas DLC para anis de pisto de motores de combusto interna de alta compresso depositados por HiPIMS em modo DOMS. O objectivo deste trabalho  estudar a influncia de certos parmetros de deposio nas amostras, a fim de obter uma linha de orientao a seguir no projecto. A variao no vis do substrato mostra que ao aumentar o vis do substrato na dureza do processo de deposio dos revestimentos DLC, aumenta. Ao aumentar o enviesamento do substrato, os ies de carbono no plasma so atrados com mais fora para o substrato e resultam numa estrutura mais compacta dos filmes. Como parte desta tese, o Ne  produzido para descarregar gs e os efeitos do Ne so estudados. Ne aumenta o grau de ionizao do Carbono no plasma de modo a aumentar a razo sp3 na estrutura do filme. Uma vez que sp3  uma hibridao mais potente, os revestimentos que so depositados com Ne mostram mais dureza no teste de indentao de Nano.